2023年4月4日，康涅狄格州米德爾菲爾德，Zygo公司---全球知名的光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造商，更新了其計(jì)量軟件Mx的*新版本。這是一個(gè)適用于所有相關(guān)Zygo計(jì)量設(shè)備的全新版本。

Zygo的Mx軟件整合了表面形貌和透射波前計(jì)量時(shí)，數(shù)據(jù)的采集和分析。其強(qiáng)大的功能和直觀的可視化設(shè)計(jì)，使數(shù)據(jù)采集和分析變得快速而簡(jiǎn)單。9.1版提供了幾個(gè)新關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)，如：

·                    非球面綜合分析；

·                    全新的輪廓分析；

·                    以及支持所有相關(guān)Zygo計(jì)量設(shè)備，自定義流程的自動(dòng)測(cè)量和拼接功能。

Zygo總部位于康涅狄格州的米德爾菲爾德小鎮(zhèn)，其設(shè)計(jì)的Mx軟件，幾十年來一直為綜合計(jì)量軟件設(shè)立了“黃金標(biāo)準(zhǔn)”，即在一個(gè)軟件平臺(tái)上，定制化采集和分析數(shù)據(jù)，通過優(yōu)化儀器性能、自動(dòng)化測(cè)量，和分析數(shù)據(jù)，確保了您對(duì)每一次測(cè)量的信心。

非球面綜合分析

Zygo用戶體驗(yàn)產(chǎn)品經(jīng)理Martin Fay說："Mx?9.1軟件通過Asphere+分析功能擴(kuò)展了Zygo相關(guān)合作軟件對(duì)非球面分析的能力，為基于任何設(shè)備獲得的非球面數(shù)據(jù)，提供了一個(gè)通用分析工具。它可以自各類非球面面形數(shù)據(jù)中逆推其設(shè)計(jì)方程，也可以測(cè)量器件實(shí)際形貌和設(shè)計(jì)之間的三維形貌偏差，并將偏差數(shù)據(jù)導(dǎo)出，用于制造過程的反饋。"

全新輪廓分析模塊

Mx?9.1軟件的新功能還包括新的**輪廓分析模塊，基于Digital Surf的MountainsMap®軟件功能。Zygo光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品經(jīng)理Eric Felkel補(bǔ)充說："這項(xiàng)新的軟件功能，為我們的客戶提供了更多的能力，用于檢測(cè)他們*具挑戰(zhàn)性的表面上的關(guān)鍵尺寸。通過將MountainsMap的這一行業(yè)**功能直接納入Zygo的Mx軟件界面，**輪廓分析模塊可以簡(jiǎn)化客戶的工作流程，新的可測(cè)量尺寸結(jié)果，包括半徑、直徑、距離和角度。"

自定義流程的自動(dòng)測(cè)量和拼接功能

Mx?9.1軟件還為Zygo的激光干涉儀引入了自動(dòng)測(cè)量和拼接功能。激光干涉儀產(chǎn)品經(jīng)理Erin McDonnell說："在Mx軟件中增加激光干涉儀自動(dòng)測(cè)量和拼接功能，是一個(gè)重大進(jìn)步，使我們的客戶能夠以高橫向分辨率，對(duì)大尺寸器件面形進(jìn)行測(cè)量，還可以簡(jiǎn)化樣品平臺(tái)以提高產(chǎn)出。

Martin Fay補(bǔ)充說："自動(dòng)測(cè)量模塊已經(jīng)為所有Zygo用戶進(jìn)行了簡(jiǎn)化，支持復(fù)雜幾何形狀的運(yùn)動(dòng)軌跡；以及在自動(dòng)測(cè)量運(yùn)行期間，分析已經(jīng)收集的數(shù)據(jù)。"

Mx?9.1軟件目前已在所有新的計(jì)量系統(tǒng)上安裝，并支持在已有的Zygo計(jì)量設(shè)備上升級(jí)。

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